材质 | 不锈钢 |
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类型 | 气体捕集泵 |
驱动方式 | 电动 |
输送介质 | 空气 |
用途 | 真空泵 |
真空度 | 超高真空度 |
泵轴位置 | 卧式 |
品牌 | ulvac/爱发科 |
型号 | C30 |
加工定制 | 否 |
制冷机的制冷介质为气氦,一级冷板温度为50~100K,典型应用是65K,用来冷凝水蒸汽和预冷其他气体;二级冷板温度为10~20K,用来冷凝氮、氧和氩等气体。在二级冷板的内表面涂以活性炭。活性炭的比表面积为500~2500米2/克,在低温下对氦、氖和氢有很强的吸附能力。冷板由无氧铜制成,表面抛光达到镜面程度,以减小辐射系数。泵的极限压力为10-7~10-8帕,工作压力范围为10-1~10-7帕,要求预抽压力为1帕。制成的产品抽气速率已达60000升/秒(1升=10-3米3)。此外,尚可根据工艺的特点把抽气冷板安排在被抽容器内,其抽气速率可达到106升/秒以上。