| 定位精度 | 1um |
|---|---|
| 规格 | 1200*750*630mm |
| 类型 | 全自动三坐标测量机 |
| 适用范围 | 电子厂,电子元器件切割 |
| 品牌 | 晶尹阳 |
| 型号 | CMM系列 |
| 加工定制 | 是 |
主要技术指标
型号 CM1200
输 入 电 压 单相220V/10A
测量范围 850mm×1200mm
测量精度 ≤10(nm)
XY平台重复精度 1um
Z轴行程 50mm
温度 23±1 0 C
湿度 40%~60%RH
净化级别 Class100
显微镜配置 nikon cfi60系列
聚焦方式 激光自动聚焦
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