产品用途该设备主要适用于半导体材料如4"~8"硅片及其它硬脆材料的高速高精度多片切割加工。产品特点1.该设备具有精密温度控制系统,切片精度高,翘曲度小,切片质量稳定,切割成本小。2.收、放线系统采用全伺服电机驱动,导轮使用少,路径简短,稳定可靠,装配维修迅速。3.电气控制系统,该设备采用贝加莱的PCC控制系统及伺服驱动系统,控制精度高、响应速度快,并具有能量回馈功能,降低了运行成本;齐备的工艺参数设置显示,拥有20套20步的切割工艺,**大限度的发挥设备硬件功能;另有自定义选项,用于满足客户的特殊操作要求;并可选配工厂网络接口,可实现远程监控。4.主轴系统采用双球面顶紧线辊结构;采用机械、气帘、唇圈复合密封结构,采用脂润滑方式,安装维护方便,轴承座外周设有冷水套,对轴承进行强制冷却。5.为了适应多晶材料切片,本设备设置了分网机构,根据硅碇的长度调节各导轮位置将线网分割成适宜硅碇长度区域,从而实现多块多晶硅碇切片切头的复合加工。主要技术参数1、加工能力(宽×高×长):156mm×156mm×250mm(4根) 156mm×156mm×500mm(2根)2、导轮线卷线宽度:φ250×510×2轴轴间距离:650mm切割线速度:**大15m/s3、切割线直径:φ0.10mm~φ0.18mm恒定张力:15.0N~40.0N(**小单位:0.1N)切割线方向:双向或单向4、工作台升降行程:**大300mm工作台移动速度(五级可设定):0.05-200mm/min5、供砂系统砂桶容量:400L控制温度:设定±2℃6、电机导轮驱动电机:55kw切割线供给/回收电机:2×15kw绕线排线电机:450w工作台升降机:2kw张力控制电机:1.8kw砂浆泵电机:7.5kw砂浆搅拌电机:1.5kw7、外形尺寸(长×宽×高):3500mm×2000mm×3200mm8、重量:约12000kg设备配置表
序号 | 名称 | 型号规格 | 总数量 | 供货状态 | 备注 |
1 | 主机 | | 1 | 标配 | |
2 | 切割辊 | | 2件/ 套 | 标配 | 装在主机上 |
3 | 收线辊 | | 1 | 标配 | 装在主机上 |
4 | 大导线轮 | | 2(4件/套) | 标配 | 装一套,备一套 |
5 | 小导线轮 | | 2(4件/套) | 标配 | 装一套,备一套 |
6 | 粘料板 | | 3(2件/套) | 标配 | 装一套,备两套 |
7 | 供液桶 | 300L | 1套 | 标配 | |
8 | 扭力扳手 | 120-300NM | 1个 | 标配 | 拆装切割辊 |
9 | 扭力扳手 | 5-25NM | 1个 | 标配 | 预紧主轴轴承 |
10 | 专用套筒扳手 | | 1套/两种 | 标配 | 拆卸切割辊/收放线辊 |
11 | 内六方扳手 | 12件套 | 1套 | 标配 | |
12 | 螺丝刀 | 4” | 1套 | 标配 | “一”字“十”字各一 |
13 | 活扳手 | 24” | 1件 | 标配 | |
14 | 上、下料工装 | | 1套 | 选配 | 视用户定制 |
15 | 切割钢线 | TA100/BS200 | | 选配 | 用户订购 |
16 | 水冷机组 | >40KW | | 选配 | 用户定制 |
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